ご 挨 拶

有馬健太のホームページにようこそ!
私は現在、大阪大学 大学院 工学研究科 物理学系専攻 精密工学コース ナノ製造科学領域で准教授を務めています。以下に、研究の内容を簡単に紹介します。

次世代の豊かな情報社会を実現するためには、従来よりも高い性能を持つ電子デバイスの創出が不可欠です。電子デバイスの中核を成すのは半導体であり、良く知られたシリコン以外にも、単体から化合物、さらにはナノ材料まで多種多様です。それらが本来有する優れた電子物性を引き出すことにより、次世代型の電子デバイスが作製できると期待されています。しかし、意図したデバイス性能を得るためには、高精度のデバイス作製プロセスが不可欠です。特に、半導体材料の最表面は、電子デバイスにおけるキャリア(電子・正孔)のチャネル部を担うため、その構造を原子のスケールで制御することが求められます。超高真空雰囲気を準備し、高温熱処理を施せば、広範囲において原子レベルで平坦な理想表面を容易に得ることができますが、実際の半導体プロセスでは、シリコンの場合を含め、容易でありません。

私は、生産工学分野における表面科学を専門としています。表面科学の基本は、表面を”観る(診る)”ことです。光や電子をプローブとした顕微・分光技術により、半導体表面の原子の配列を明らかにします。次に、得られた情報を基に、液相/半導体及び、気相/半導体の界面で起こる物理・化学現象を原子・分子レベルで”理解”することが重要です。そして、上記界面現象を積極的に活用した表面創成プロセスや、環境に優しいデバイスプロセスを”創出”し、次世代電子デバイスの高性能化に寄与することを目指します。

研究を遂行するにあたっては、ウルトラクリーン実験施設を介した専攻(精密科学コース)内の複数の研究室はもとより、国内外の研究機関との共同研究を積極的に進めています。

    

 現在、大学院生を募集しています
私のホームページに興味が有る人、大学院で「研究を頑張ってみたい」と考えている人は、有馬(本頁右上にメールアドレス記載)までご一報ください。
 
 


What's New !

2020/11/24
日本表面真空学会 学術講演会(オンライン形式)において、指導を担当する学生二名が口頭発表を行いました。また、応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会フォーラム2020(オンライン形式)においても、学生一名がポスターセッションで発表しました。
2020/11/2
Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2020 (PRiME 2020、オンライン形式)にて、指導を担当する学生一名と私が、それぞれ一件ずつ発表しました。
2020/10/25
(公財)三豊科学技術振興協会の研究助成に採択されました。
2020/9/11
応用物理学会 秋季学術講演会(オンライン形式)において、指導を担当する学生四名が口頭発表を行いました。加えて、私自身も一件、発表しました。
2020/9/8
秋の学会シーズンが始まり、まずは、精密工学会 秋季大会学術講演会にて指導を担当する学生三名が口頭発表を行いました。慣れないオンライン形式でしたが頑張りました。
2020/7/17
学内で企画されたASEAN Online Summer Seminar on Applied and Engineering Physicsに参加し、東南アジア諸国の大学生に向けて、オンライン形式で講義を実施しました。
2020/4/19
メディア講義を収録する取り組みについて、毎日新聞社の取材を受け、記事中で紹介されました(4/17 夕刊(社会面)、web版はこちら)。
2020/3/17
化学修飾したグラフェン触媒を用いた半導体表面のエッチング特性に関する論文が、The Journal of Physical Chemistry C 誌に掲載されました。
2020/2/3
一節を執筆した書籍『2020版 薄膜作製応用ハンドブック』が、(株)エヌ・ティー・エス社から出版されました。
2019/12/2
(公財)大倉和親記念財団の研究助成に採択されました。
2019/11/1
日本表面真空学会の学術講演会(つくば国際会議場)において、指導を担当している学生二名が発表しました。
2019/10/28
CCMST2019(上海、中国)とEMN Meeting on Porous Materials 2019(ドブロブニク、クロアチア)において各一件、招待講演を行いました。
2019/9/21
応用物理学会 秋季学術講演会(北海道大学)のシンポジウム「界面ナノ電子化学:多様化する半導体ウェットプロセス」において、招待講演を行いました。
2019/9/7
精密工学会 秋季大会学術講演会(静岡大学)において、指導を担当している学生三名が口頭及びポスター発表を行いました。 うち一名が、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。増本君 おめでとう!
2019/9/1
イノベーション・ジャパン2019(東京ビッグサイト)の大学見本市に出展しました。
2019/8/16
プラズマ酸化とウェットエッチングによるSiC基板の表面改質とグラフェン形成に関する論文が、Journal of Applied Physics誌に掲載されました。また本論文が、当該雑誌中でFeatured Articleに選ばれました。
2019/8/12
日本表面真空学会の会誌『表面と真空』の8月号で巻頭言を執筆しました。
2019/6/28
精密工学会関西支部の商議員会に出席しました。また、同日に行われた2019年関西地方定期学術講演会にて、指導を担当している五名の学生がそれぞれ、ポスター発表を行いました。そして、その中の一名がベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。増本君 おめでとう!
2019/4/18
(公財)東電記念財団の研究助成に採択されました。
2019/4/11
科研費(基盤研究(B))に新規採択されました。
2019/3/26
昨秋の応用物理学会講演会での発表内容が評価され、平野君が第45回 講演奨励賞を受賞しました。先日行われた春季学術講演会(東京工業大学)において、平野君が授賞式に出席し、併せて記念講演を行いました。おめでとう!
2019/3/16
精密工学会 春季大会(東京電機大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。また、指導を担当している学生二名が口頭発表を行いました。
2019/3/8
(公財)中部電気利用基礎研究振興財団の研究助成に採択されました。
2019/1/21
アメリカ真空学会(American Vacuum Society)が主催する、PCSI-46(46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces、サンタフェ、米国)に出席しました。そして、指導を担当している学生二名が発表し、共にYoung Scientist Awardを受賞しました。Congrats, Shaoxian and Tomoki!
2019/1/18
共著として加わった、陽極酸化を利用したSiC表面の構造改質に関する論文が、ACS Applied Materials & Interfaces誌に掲載されました。
2018/12/6
(一財)先端加工機械技術振興協会の研究助成に採択されました。
2018/11/22
日本表面真空学会の学術講演会(神戸国際会議場)において、指導を担当している学生三名が発表しました。また当該講演会では、プログラム委員長を担当させて頂き、多くの方に多大なご協力を賜りました。深く御礼申し上げます。
2018/11/16
(公財)泉科学技術振興財団の研究助成に採択されました。
2018/9/23
応用物理学会 秋季学術講演会(名古屋国際会議場)において、指導を担当している学生二名が発表しました。
2018/9/8
精密工学会 秋季大会(函館アリーナ)において、キーノートスピーチを行いました。
2018/8/28
表面技術協会・ARS(金属のアノード酸化被膜の機能化部会)の第100回例会が首都大学東京にて開催され、依頼講演を行いました。
2018/7/13
グラフェン・アシストエッチングの反応過程に関する論文がMaterials Science in Semiconductor Processing誌に掲載されました。
2018/7/10
今春卒業した学生が卒業直前に発表した精密工学会春季大会での講演が、ベストポスタープレゼンテーション賞に決まりました。中田君 おめでとう、新天地でもがんばれ!
2018/7/2
科研費(挑戦的研究(萌芽))に新規採択されました。
2018/6/29
精密工学会関西支部の商議員会に出席しました。また、同日に行われた2018年関西地方定期学術講演会にて、指導を担当している五名の学生がそれぞれ、ポスター発表を行いました。そして、その中の一名がベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。南君 おめでとう!
2018/6/15
(公財)加藤科学振興会の研究助成に採択され、贈呈式に出席しました。
2018/5/22
(公財)マザック財団の研究助成に採択され、表彰式に出席しました。
2018/5/1
共著として加わった、SiC表面の陽極酸化に関する論文が、Electrochimica Acta誌に掲載されました。
2018/3/22
応用物理学会 春季学術講演会(早稲田大学)において、指導を担当している学生二名が口頭発表を行いました。 また、その後に行われた応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会のポスター発表展に学生が参加し、優秀講演賞を頂きました。平野君 おめでとう!
2018/3/20
精密工学会 春季大会(中央大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。また、指導を担当している学生三名が口頭発表を行いました。
2018/1/22
45th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces(コナ、ハワイ島)にて発表を行いました。
2018/1/21
指導を担当している学生が、第23回 電子デバイス界面テクノロジー研究会で一件のポスター発表を行いました。
2017/12/12
指導を担当している学生が、国際コロキウム(The 25th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM 25))で一件のポスター発表を行いました。
2017/12/3
グラフェン・アシストエッチングに関する論文がCarbon誌に掲載されました。
2017/12/1
(公財)カシオ科学振興財団の研究助成に採択され、贈呈式に出席しました。
2017/10/30
国際シンポジウム(The 8th International Symposium on Surface Science (ISSS-8)、つくば)にて、指導を担当している学生二名がそれぞれ、ポスター発表を行いました。
2017/10/9
232nd ECS Meeting(ワシントンDC、米国)において、招待講演を行いました。また、関連するシンポジウムのSession chairを務めました。
2017/9/24
精密工学会 秋季大会学術講演会(大阪大学)において、指導を担当している学生四名が口頭及びポスター発表を行いました。 そして、その中の二名がベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。伊藤君、平野君 おめでとう!
2017/8/21
共著として加わった解説記事が『砥粒加工学会誌』に掲載されました。
2017/7/21
9月に出席する国際会議(232nd ECS Meeting)に関連して投稿した論文の、ECS Transactionsへの掲載が決まりました。
2017/7/20
日本表面科学会の会誌『表面科学』に解説記事が掲載されました。
2017/6/27
共著として加わった、Silicon on Insulator(SOI)層の光エッチングに関する論文が、Microelectronic Engineering誌に掲載されました。
2017/6/5
231st ECS meeting(ニューオーリンズ、米国)にて、口頭発表を行いました。
2017/4/20
来月出席する国際会議(231st ECS Meeting)に関連して投稿した論文の、ECS Transactionsへの掲載が決まりました。
2017/3/31
日本表面科学会の企画委員会に出席しました。今回で、2年間の任期を無事終了しました。お世話になった皆様方に深く御礼申し上げます。
2017/3/15
応用物理学会 春季学術講演会(パシフィコ横浜)において、指導を担当している学生がポスター発表を行いました。
2017/3/14
精密工学会 春季大会(慶応義塾大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。また、指導を担当している学生が口頭発表を行いました。
2017/1/25
国際シンポジウム(Symposium on Surface Science & Nanotechnology - 25th Anniversary of SSSJ Kansai -、京都)にて、指導を担当している学生二名がそれぞれ、ポスター発表を行いました。
2017/1/23
指導を担当している学生が、第22回 電子デバイス界面テクノロジー研究会で一件のポスター発表を行いました。
2016/12/2
2016年真空・表面科学合同講演会(名古屋国際会議場)にて発表しました。
2016/10/30
Nano S&T-2016(シンガポール)にて招待講演を行いました。
2016/10/19
世話役を担当した、日本表面科学会主催の第62回 表面科学基礎講座「表面・界面分析の基礎と応用」が大阪大学にて開催されました。
2016/10/10
PRiME 2016(230th ECS meeting、ホノルル)にて、二件の口頭発表を行いました。
2016/10/6
日本表面科学会のプローブ顕微鏡研究部会のメンバーとなりました。よろしくお願いします。
2016/9/30
来週出席する国際会議(PRiME 2016)に関連して投稿した論文が、ECS Transactionsに掲載されました。
2016/9/17
応用物理学会 秋季学術講演会(朱鷺メッセ)において、一件の口頭発表を行うと共に、関連するセッションの座長を務めました。また、指導を担当している二名の学生もそれぞれ、口頭発表を行いました。
さらに、期間中に開催されたランチョンセミナーにて、依頼講演を行いました。
2016/9/7
水分子が吸着した極薄酸化膜の電気的性質を放射光により評価した国際共同研究の結果がJournal of Applied Physics誌に掲載されました。
2016/9/6
精密工学会 秋季大会(茨城大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。また、指導を担当している学生が口頭発表を行いました。
2016/8/3
同じ研究室の森田先生の論文が、Jpn. J. Appl. Phys.誌にアクセプトされました。
2016/7/13
精密工学会関西支部の商議員会に出席しました。また、同日に行われた2016年関西地方定期学術講演会にて、指導を担当している二名の学生がそれぞれ、ポスター発表を行いました。
2016/6/23
CC3DMR 2016(仁川、韓国)にて招待講演を行いました。また、関連するセッションの座長を務めました。
2016/4/4
科研費(挑戦的萌芽研究)に新規採択されました。
2016/4/1
International Conference and Exhibition on Materials Chemistry(バレンシア、スペイン)にて招待講演を行いました。
2016/3/20
(公財)御器谷科学技術財団の研究開発助成に採択されました。
2016/3/16
精密工学会 春季大会(東京理科大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。
2016/2/3
応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会が開催した、吸着ワーキンググループの研究会において、基調講演を行いました。
2016/1/23
指導を担当している中出和希 君が、第21回 電子デバイス界面テクノロジー研究会で発表を行い、プロセス部門の講演奨励賞(安田賞)を受賞しました。中出君 おめでとう!
2015/12/1
2015年真空・表面科学合同講演会(つくば国際会議場)にて発表しました。
2015/11/5
応用物理学会の会誌『応用物理』に基礎講座の解説記事が掲載されました。
2015/10/21
世話役を担当した、日本表面科学会主催の第60回 表面科学基礎講座「表面・界面分析の基礎と応用」が大阪大学にて開催されました。
2015/10/3
ECASIA'15(グラナダ、スペイン)にて口頭発表を行いました。
2015/9/17
応用物理学会 秋季学術講演会(名古屋国際会議場)において、二件の口頭発表を行いました。
2015/9/6
精密工学会 秋季大会(東北大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。
2015/8/3
酸素ガスの還元反応を用いた金属アシストエッチングによるGe表面の平坦化に関する論文がChemElectroChem誌にアクセプトされました。
2015/7/20
(公財)村田学術振興財団の研究助成に採択され、贈呈式に出席しました。
2015/7/16
2013年に続き、本年度の大阪大学 総長奨励賞(研究部門)を頂きました。
2015/7/13
日本表面科学会の会誌に解説記事が掲載されました。
2015/6/23
精密工学会関西支部の商議員会に出席しました。また、同日に行われた2015年関西地方定期学術講演会にて、指導を担当している三名の学生がそれぞれ、ポスター発表を行いました。
2015/5/20
同じ研究室の川合先生の論文が、J. Micromech. Microeng.誌に掲載されました。
2015/4/16
日本表面科学会 関西支部の役員会に出席しました。今年度より、本部企画委員も担当させて頂きます。よろしくお願いします。
2015/4/13
MRS Spring Meeting(サンフランシスコ)にて口頭発表を行いました。
2015/4/10
科研費(基盤研究(B))に新規採択されました。
2015/3/27
精密工学会の会誌編集委員会に出席しました。今回で、3年間の任期を無事終了しました。お世話になった皆様方に深く御礼申し上げます。
2015/3/17
精密工学会 春季大会(東洋大学)にて発表しました。
2015/2/16
兵庫県立 北摂三田高校にて特別授業を行いました。
2015/1/31
ゲートスタック研究会(静岡)にて発表しました。
2015/1/23
放射光を用いたAP-XPS測定に関する総説が、日本真空学会の会誌に掲載されました。
2014/11/10
日本表面科学会 学術講演会(くにびきメッセ)にて発表しました。また別のセッションにおいて、座長を務めました。
2014/10/12
226th ECS meeting(カンクン、メキシコ)にて、二件の口頭発表を行いました。
2014/09/17
応用物理学会 秋季学術講演会(北海道大学)のシンポジウム「界面ナノ電子化学:半導体ウェットプロセスの最前線」において、招待講演を行いました。
2014/09/16
精密工学会 秋季大会(鳥取大学)のオーガナイズドセッション「表面ナノ構造・ナノ計測」において、座長を務めました。
2014/08/28
プラズマ酸化を援用したSiC表面上へのグラフェン形成に関する論文がCarbon誌にアクセプトされました。
2014/07/23
秋のECS meetingに向けて投稿したECS Transactions(二本)が受理されました。
2014/07/06
指導を担当している齋藤雄介 君が、精密工学会 2014年関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。齋藤君 おめでとう!
2014/06/27
CCMR 2014(仁川、韓国)にて招待講演を行いました。
2014/06/10
WCAM 2014(重慶、中国)にて招待講演を行いました。
2014/06/4
日本表面科学会が主催する、第57回 表面科学基礎講座「表面・界面分析の基礎と応用」(大阪大学)にて司会を担当しました。
2014/05/12
精密工学会誌に解説記事 他一本が掲載されました。
2014/04/28
MRS Spring Meeting(サンフランシスコ)にて口頭発表を行いました。
2014/04/11
日本表面科学会 関西支部の役員会に出席しました。
2014/04/04
科研費(挑戦的萌芽研究)に新規採択されました。
2014/03/28
精密工学会の会誌編集委員会に出席しました。
2014/03/20
精密工学会 春季大会(東京大学)にて発表しました。
2014/03/19
応用物理学会 春季学術講演会(青山学院大)にて発表しました。
2014/02/13
兵庫県立 北摂三田高校にて特別授業を行いました。
2014/01/25
ゲートスタック研究会(静岡)にて発表しました。

SIDE MENU