大阪大学　大学院工学研究科　精密科学･応用物理学専攻　森田研究室 Laboratory of Scientific Hardware Systems, Dept. of Precision Science and Technology Grad. School of Engineering, Osaka University
ホーム 研究内容 研究業績 研究室紹介 メンバー一覧 修論・卒論タイトル一覧 リンク 大阪大学関連 関連組織・学会 助教募集 （Update !） 研究室へのアクセス お問い合わせ先 English version 作製した極薄シリコン酸化膜 を有するSOI構造の一例 水素終端化Si(110)表面の原子像	次世代スーパーコンピュータや将来のマルチメディア技術の開発には、一個の電子まで精密に 制御できる新しい高機能デバイスが必要です。このような未来技術実現のため私たちの研究室では、 極限の先端機器システムを駆使して、原子配列を精密に制御した超微細構造を創ります。この超微細 構造を利用して、電子を自由に制御し、新しい機能を有する微細素子を作製することができます。さら に、これらの新機能微細素子を集積することによって実現できる高機能デバイスは、大量の情報処理 とグローバルな超高速通信を可能にし、現代文化の活性化や新産業創出に貢献します。このように、 超微細構造を創成する極限の先端機器システムと、その超微細構造により実現される新機能デバイス が、私たちと原子・電子の世界を結び付け、豊かな未来を拓きます。 　 　　現在、先端機器システム領域では、 　 (1) 極微細構造による次世代バイオセンシングデバイス (2) ナノメートル厚さのシリコンを用いた新型発光素子 (3) 固液界面反応による半導体表面の高品質化及び新機能付与 (4) 光エッチングによる3次元形状の創製 　 　に関する研究を、学生と教官が一体となって日夜精力的に進めています。 　 有機シラン分子によるSi(111)表面ステップ端のナノスケール機能化 塩素終端化Ge(111)表面のステップ/テラス構造
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